METEORIET

Ontwikkeling van MEMS-chips

Het consortiumproject METEORIET (MEms TEst voOR hoog-volume Innovatieve Elektronische Toepassingen) ontwikkelt tussen 2020 en 2022 een nieuwe methode voor het testen van zogeheten Micro-Electro Mechanical Systems Chips (MEMS-chips). De samenwerking van bedrijven en kennisinstellingen ontvangt daarvoor bijna 1 miljoen euro subsidie van Operationeel Programma Oost-Nederland (OP-Oost). De partijen verwachten met het te ontwikkelen MEMS testinstrument een aantrekkelijke groeimarkt aan te boren. Oost NL hielp bij het vinden van projectpartners voor de vorming van het consortium. 

MEMS-chips verschillen van elektronische chips in het feit dat ze geïntegreerd zijn met een mechanisch, fluïdisch of akoestisch element. Met dit soort chips kan men bijvoorbeeld bewegingen meten, geluid genereren en manipuleren (zoals in gehoorapparaten) en vloeistoffen analyseren. Net als 'gewone' elektronische chips moeten ook MEMS-chips worden getest voor ze in hun uiteindelijke behuizing worden gemonteerd. Dit testen is echter complexer voor MEMS dan voor gewone chips, hierdoor worden MEMS vaak pas getest als ze al afgemonteerd zijn. Daardoor komt het dikwijls voor dat defecte MEMS-chips worden ingebouwd in hun behuizing waarna deze modules dan moeten worden weggegooid. Tevens is er voor MEMS testen vaak dure en speciale 'stimulatieapparatuur' nodig. 

Verspilling tegengaan

Om deze verspilling tegen te gaan en het op een eenvoudiger manier te testen heeft Salland engineering (Zwolle) een consortium gevormd met Bronkhorst High-Tech (Ruurlo), Universiteit Twente (Enschede), Hogeschool Saxion (Enschede) en MASER Engineering (Enschede). De projectpartners gaan samenwerken aan de ontwikkeling van een effectieve methode voor het testen van deze MEMS-chips en het in model brengen van deze tests. Hierdoor kunnen MEMS-producten goedkoper in de markt worden gezet en dus meer producten beschikbaar komen die van deze veelzijdige chips gebruik maken. Door deze testprocedure te ontwikkelen zal (Oost-)Nederland haar positie in de chiptestwereld verder versterken.